Огласовки

Когда в Коране впервые появились точки и огласовки над буквами?

Вначале вместо привычных нам огласовок использовались точки. Вместо фатхи над буквой ставилась одна точка, вместо кясры ставилась одна точка под буквой, дамма обозначалась точкой, которая ставилась перед буквой, а вместо сукуна ставились две точки.